TF-LFA 热反射法薄膜导热仪
TF-LFA 热反射法薄膜导热仪
薄膜的完整热性能表征
薄膜的热物理性质在热电材料、相变存储器、发光二极管、燃料电池和光存储介质以及半导体行业等领域中变得愈发重要,因此精确测量薄膜的热物理性质至关重要。林赛斯 TF-LFA 热反射法薄膜导热仪是一种在频域内对薄膜热性能进行非接触表征的测量设备,可精确测量薄膜的导热系数、热扩散系数等重要参数。
不同类型的薄膜
  • nm 到 µm 级的层状膜
  • 生长在特定基底上的薄膜
  • 多种不同功能的膜:包括半导体膜(如热电、传感器、晶体管)、金属膜(用作触点)、隔热涂层、光学膜
  • 典型的生长技术包括:PVD(例如:溅射、热蒸发)、 CVD(PECVD,LPCVD,ALD)、 滴涂、旋涂 & 打印
测量特性
  • 导热系数
  • 热扩散系数
  • 界面热阻
  • 传热效率
  • 体积热容
基本功能
  • 薄膜的完整热性能表征
  • 测量间层接触热阻
软件

林赛斯的所有热分析仪器均采用软件控制。各个软件模块需在 Microsoft Windows 操作系统下运行。


整个软件由温度控制、数据采集和数据评估三个模块组成。Windows 软件集成了测量准备、实施和评估的热分析测量的所有基本功能。


经过我们技术专家和应用专家的不断努力,林赛斯开发出了全面的、易于理解的、易于使用的应用程序软件。

  • 常规功能

    完全兼容 MS® Windows™ 操作系统

    断电时的数据安全

    实时评估

    曲线比较

    评估结果存储和导出

    ASCII 格式数据导出和导入

    MS Excel 数据导出

  • 评估软件

    接触热阻的测定

    可一次性获取导热系数、热扩散系数、传热效率和体积热容

    测量前可行性检查

    灵敏度曲线图

  • 测量软件

    方便用户输入温度程序、气体控制等

    全自动测量

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