HCS L36 Basic/Advanced/Ultimate
适用于半导体及元件的特性表征
描述
独特功能
规格参数
应用
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林赛斯 HCS 专为半导体材料的表征而设计。它能够精确测定霍尔常数、电阻率,并进一步计算载流子浓度和霍尔迁移率。台式版本提供多种配置,可根据样品的几何形状和温度需求灵活选择不同的样品支架。系统提供可选的低温扩展模块,支持液氮环境下的测量,同时高温版本可扩展至 600 °C ,广泛覆盖各类应用场景。


内置的永磁体和电磁体可提供高达近 1 特斯拉的固定或可变磁场,确保测量的高精度。配套的基于 Windows© 的综合软件支持便捷记录 I-V 和 I-R 曲线,并高效评估霍尔迁移率、电导率和载流子浓度。


林赛斯 HCS 系统适用于多种材料的测量,包括 Si、SiGe、SiC、GaAs、InGaAs、InP、GaN(N 型和 P 型)以及金属层、金属氧化物等。

独特功能
  • 气密测量室,支持在特定气氛或真空条件下进行测量
  • 直径 120 mm 的磁体,确保磁场均匀性和测量精度(磁极尺寸可达 50 mm × 50 mm)
  • 模块化设计,支持系统升级与扩展
  • LED 照明选项(支持多种波长)
  • 可选锁相放大器,实现低噪声测量
  • 集成软件包,提供直观易用的操作体验
规格参数
类型 HCS L36 Basic
温度范围: 从液氮(LN2)至 600 °C(提供多种机型版本)
-160 °C(程序控温冷却)
-196 °C(淬火冷却)
磁体: 永磁体直流磁场最高可达 0.70 T,磁极直径 120 mm,
双磁体结构,适用于双极性测量。
电源: 直流 1 nA 至 125 mA(8 个数量级量程 /输出钳位电压 ±12 V)
电压测量: 直流低噪声 / 低漂移
1 µV 至 2500 mV
4 个数量级放大
数字分辨率:300 pV
传感器/样品尺寸: 塞贝克传感器、光照传感器、门控霍尔条
5 × 5 mm 至 12.5 × 12.5 mm ,最大样品高度 3 mm
17.5 × 17.5 mm 至 25 × 25 mm ,最大样品高度 5 mm
42.5 × 42.5 mm 至 50 × 50 mm ,最大样品高度 5 mm
高温测试基板:10 × 10 mm ,最大样品高度 3 mm
电阻范围: 10-4 至 107 Ωcm
载流子浓度: 107 至 1021 cm-3
迁移率范围: 0.1 至 107 cm2V-1s-1
气氛: 真空、惰性、氧化性、还原性
温度精度: 0.001 °C




类型 HCS L36 Advanced
温度范围: RT 至 600 °C
磁体: 磁场最高可达 0.5 T(交流或直流磁场)
多段式海尔贝克阵列结构
内径:40 mm
高度:98 mm
电源: 直流 1 nA 至 125 mA(8 个数量级量程 /输出钳位电压 ±12 V)
电压测量: 直流低噪声/低偏差:1 µV 至 2500 mV,4 个量程增益,数字分辨率:300 pV
交流:20 nV 至 1 V,可调积分时间和增益
传感器/样品尺寸: 最大尺寸 12.5 × 12.5 mm
样品最大高度 2.0 mm
电阻范围: 10-5 至 107 Ωcm
载流子浓度: 107 至 1022 cm-3
迁移率范围: 1 至 107 cm2V-1s-1
气氛: 真空、惰性、氧化性、还原性
温度精度: 0.001 °C




类型 HCS L36 Ultimate
温度范围: 从液氮(LN2)至 600 °C(提供多种机型版本)
-160 °C(程序控温冷却)
-196 °C(淬火冷却)
磁体: 磁极直径 76 mm,交流供电电源,可支持最高 0.1 Hz、±40 A 条件下的测量。
电源: 直流 1 nA 至 125 mA(8 个数量级量程 /输出钳位电压 ±12 V)
电压测量: 直流低噪声、低漂移,1 μV 至 2500 mV,4 个数量级放大倍数,数字分辨率:300 pV
交流 20 nV 至 1 V,特性:吉欧级输入阻抗、可设置积分时间与放大倍率
传感器/样品尺寸: 塞贝克传感器、光照传感器、门控霍尔条
5 × 5 mm 至 12.5 × 12.5 mm ,最大样品高度 3 mm
17.5 × 17.5 mm 至 25 × 25 mm ,最大样品高度 5 mm
42.5 × 42.5 mm 至 50 × 50 mm ,最大样品高度 5 mm
高温测试基板:10 × 10 mm ,最大样品高度 3 mm
电阻范围: 10-4 至 107 Ωcm
载流子浓度: 107 至 1021 cm-3
迁移率范围: 10-3 至 107 cm2V-1s-1
气氛: 真空、惰性、氧化性、还原性
温度精度: 0.001 °C

应用
适用于半导体及元件的电阻率、电导率、霍尔系数、迁移率、载流子浓度等参数的表征
锑薄膜(150 nm Sb)

锑(Sb)是一种半金属,广泛应用于热电领域(以合金形式存在,例如 Bi₁₋ₓSbₓ),并在微电子领域作为新兴应用材料。然而,金属锑最主要的应用是铅酸电池中的铅锑板。下图展示了使用林赛斯 HCS L36 Basic(室温至 200 °C 选项)对通过溅射沉积在 SiO₂/Si 基底上制备的薄膜进行的全面表征。

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